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沈陽恒進真空科技有限公司
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真空靜電封接機的設備用途、特點:
真空靜電封接機用于傳感器和集成電路制造技術的后道關鍵工序,實現芯片的無應力、無蠕變封裝;以保證高靈敏度、高精度的傳感器器件性能、質量以及成品率;是傳感器和集成電路制造技術的關鍵設備。封接電壓可調,極性可變,可滿足單面封接和雙面封接,電極采用多點浮動加壓方式。封接溫度可調,加熱元件采用內熱板式加熱,熱效率高, 壽命長。
封接機技術指標: